實現超精密加工的基本條件

完成超精密加工基本上標準：

為了更好地能完成超精密加工并得到預估的加工實際效果，務必具有以下基本上標準：

被加工產品工件的材料要密實度；各向的同一性好些（最好是為單晶體）；表面強度和彈性模具要勻速運動一致；可加工性好些；原材料的有機化學有效成分與機械設備機械性能對指標值的誤差不宜超出0.1%。

采用的超精密加工加工工藝方式要與被加工原材料相符合。例如，稀有金屬原材料（如銅、鋁合金）宜用點射金剛石刀片開展銑削或切削加工；玄色金屬材質（如鋼等）則宜選切削與研、拋等加工工藝，不然無法得到預估的加工實際效果等。

加工自然環境要嚴苛控溫、減振和凈化處理。恒溫室（第一隔開區）中的溫度起伏不可超過±0.1°C；加工區（第二隔開區）中則不可超出±0.01°C；自然環境的空氣濕度要維持在40%±10%之內；大氣壓強（如用激光器測量儀時）應維持1MPa±0.1%；數控車床路基的減振系統軟件共振頻率<2Hz；加工區的凈化處理度應是每立方英寸中超過0.1μm的顆粒成分應公以于10顆。

具備能完成納米（1nm ~10nm）增加量走刀的數控車床和分辨率好于0.1nm的測量機器設備，如干涉儀，掃描儀隧道施工光學顯微鏡和透射電鏡等。

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